地點：上海
第三站：正帆科技
正帆科技股份有限公司成立于 2009 年，總部位于上海，是國內(nèi)領(lǐng)先的高端制造綜合服務(wù)商，于2020年在科創(chuàng)板上市。公司專注于為集成電路、泛半導體、生物制藥等高科技產(chǎn)業(yè)提供關(guān)鍵系統(tǒng)、核心材料及專業(yè)服務(wù)，形成了設(shè)備類與非設(shè)備類業(yè)務(wù)協(xié)同發(fā)展的戰(zhàn)略布局，產(chǎn)品覆蓋電子工藝設(shè)備、電子氣體、核心零組件、生物制藥設(shè)備等領(lǐng)域，客戶包括中芯國際、長江存儲、SK 海力士、北方華創(chuàng)等頭部企業(yè)。
自研自產(chǎn)砷烷、磷烷，以及硅烷、乙硼烷、三氟甲烷等數(shù)十種特氣，涵蓋混配氣、TMA、NH3等品類。研發(fā)硅基、金屬基、High-K/Low-K四大品類共20余種產(chǎn)品，包括TEOS（正硅酸乙酯）、HCDS（六氯乙硅烷）、TMA（三甲基鋁）等，覆蓋先進邏輯/存儲芯片制程。
第四站：康文氣體
上海康文氣體有限公司成立于2002年，是一家專注于工業(yè)氣體、醫(yī)用氣體、電子特氣及配套工程服務(wù)的專業(yè)供應商。以液氮、液氬分裝業(yè)務(wù)為主，近年來通過技術(shù)升級和戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型，逐步拓展至高純氦氣、電子特氣等高端領(lǐng)域，形成覆蓋“氣源儲備-高純制備-特種充裝”的全產(chǎn)業(yè)鏈能力 。
電子氣體純度達到半導體級，已進入中芯國際、華虹等頭部半導體企業(yè)的供應鏈體系，逐步實現(xiàn)進口替代。公司設(shè)計充裝量可達3萬瓶/月，現(xiàn)在具備每月400-500瓶氣體的充裝能力。
地點：浙江
第五站：衢州杭氧
衢州杭氧是杭氧集團股份有限公司旗下核心子公司集群，總部位于浙江省衢州市，是國內(nèi)工業(yè)氣體領(lǐng)域的標桿企業(yè)。集團通過全資及控股子公司在衢州形成完整的氣體產(chǎn)業(yè)鏈布局，業(yè)務(wù)涵蓋工業(yè)氣體生產(chǎn)、電子特氣研發(fā)、氫能裝備制造及園區(qū)集中供氣服務(wù)，并深度參與半導體、新能源、醫(yī)療等高端領(lǐng)域。
衢州杭氧目前具備4N級二氯氫硅、3N級二氯二氫硅、硅基類混合氣、氦氣等30余類氣體充裝、生產(chǎn)能力，主要服務(wù)于半導體領(lǐng)域。其氦氣自研罐箱可達80余天保冷量，處于行業(yè)領(lǐng)先水平。覆蓋鋼鐵、化工、新材料等傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)，同時為新能源汽車電池材料生產(chǎn)提供高純度氮氣、氬氣等支持。
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